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CVD Chemical Vapor Deposition CVD真空氣相鍍膜
CVD真空氣相鍍膜
CVD真空氣相沉積技術(shù)工藝原理

       真空化學(xué)氣相沉積工藝(Chemical Vapor Deposition,英文簡(jiǎn)稱(chēng)CVD), 俗稱(chēng):真空氣相鍍膜,納米鍍膜或派瑞林鍍膜。是一種把含有構(gòu)成薄膜元素的長(zhǎng)鏈性高分子材料(派瑞林Parylene等)、單質(zhì)氣體經(jīng)過(guò)昇華、熱解後進(jìn)入放置產(chǎn)品的真空反應(yīng)室,借助空間氣相化學(xué)反應(yīng)並在產(chǎn)品表面上沉積生成的0.1-100um薄膜塗層的工藝技術(shù)。薄膜塗層厚度均勻,緻密無(wú)針孔、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷產(chǎn)品、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代最有效的防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料。     

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CVD派瑞林真空氣相鍍膜流程

隨著時(shí)代的發(fā)展,電子產(chǎn)品技術(shù)的不斷革新。高新技術(shù)與智能化的發(fā)展,精密的電子設(shè)備元件需要適應(yīng)各種惡劣的工作環(huán)境,達(dá)到工業(yè)對(duì)其更高的要求:高可靠,小型化,抗干擾等等。因此,電子零部件的環(huán)境適應(yīng)性和防護(hù)力就成了重中之重。

LPMS為適應(yīng)現(xiàn)有市場(chǎng)需求, 通過(guò)開(kāi)發(fā)創(chuàng)新,成功的將派瑞林鍍膜技術(shù)運(yùn)用到電子產(chǎn)品行業(yè)。我們?cè)诓牧稀⒐に嚭驮O(shè)備方面的專(zhuān)有技術(shù)使我們能夠?yàn)榭蛻?hù)帶來(lái)高質(zhì)量的超薄與納米級(jí)保形塗層,其成就在行業(yè)得到認(rèn)可。

CVD真空氣相沉積工藝特點(diǎn)
             
  • 生物相容性(用於各種植入物和其他醫(yī)療器械),符合FDA(ClassVI). 符合美軍標(biāo)MIL I-46058C。


  • 納米塗層滲透力強(qiáng),360度無(wú)死角,可滲入SMD器件底部,全方位覆蓋PCB和電子元件器,塗層完整、連續(xù)、無(wú)針孔、厚度均勻。


  • 具有高介電強(qiáng)度和低介電常數(shù),超薄的絕緣層,能耐高電壓。 


  • 室溫下生成納米鍍膜層,對(duì)塗覆敏感部件沒(méi)有熱應(yīng)力。 


  • 疏水薄膜,表面能量低,良好的幹膜潤(rùn)滑性。 

             
  • 高度共形 - 可在尖角上覆膜並穿透小毛孔,不會(huì)形成彎月面,也不會(huì)聚集或遮擋精細(xì)的圖形。


  • 塗層化學(xué)惰性(無(wú)反應(yīng)性),具有很高的耐化學(xué)性(酸堿鹽,溶劑)及極端的耐高低溫性(-60°C至200°C)

 

  • 透氣性非常低,不含針孔,防潮防水性(可達(dá)IP68)。


  • 抗輻射,可用於航空航太及γ射線(xiàn)和電子束滅菌。 

 

  • 光學(xué)透明,無(wú)色。可用於上光學(xué)元件和照明無(wú)件。

塗層可以承受極端高低溫
-60℃ 0℃ 60℃ 120℃ 180℃
-60~200℃
塗層可以承受極端高低溫(-60°C至200°C)
CVD真空氣相沉積與三防漆工藝對(duì)比

CVD(派瑞林 paerylene真空鍍膜)真空氣相沉積工藝鍍膜後產(chǎn)品表面化學(xué)純度高,鍍膜均勻,無(wú)小孔,無(wú)氣泡,不會(huì)脫落,無(wú)熱應(yīng)力。

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我們能為您做什麼?

針對(duì)客戶(hù)具體專(zhuān)案,進(jìn)行專(zhuān)案評(píng)估、提供專(zhuān)業(yè)可行的CVD(派瑞林 paerylene真空鍍膜 )真空氣相沉積工藝解決方案,以及納米塗層加工服務(wù)(打樣測(cè)試或大批量加工生產(chǎn))。

根據(jù)客戶(hù)技術(shù)要求提供CVD派瑞林 paerylene真空鍍膜 )真空氣相沉積工藝所需的派瑞林粉體,並給於專(zhuān)業(yè)的技術(shù)指導(dǎo);

為有需要的客戶(hù)提供有針對(duì)性設(shè)計(jì)的CVD派瑞林 paerylene真空鍍膜 )真空氣相沉積工藝設(shè)備(真空氣相沉積鍍膜機(jī)、真空脫氣爐等相關(guān)設(shè)備)。

CVD真空氣相沉積工藝應(yīng)用

       CVD(派瑞林Parylene真空鍍膜)廣泛用於航空航天、電路板、LED 、磁性材料、感測(cè)器、矽橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領(lǐng)域。派瑞林真空鍍膜後的電子產(chǎn)品具有極高的絕緣強(qiáng)度和耐高低溫(-60至200度)、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水(最高可達(dá)IP68)、抗老化、生物相容性等作用。

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CVD真空氣相設(shè)備
我們專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)、製造和銷(xiāo)售各種類(lèi)型和規(guī)格的CVD真空鍍模設(shè)備,如真空氣相沉積塗層機(jī)(派瑞林鍍膜機(jī))、真空脫氣爐等。
CVD真空氣相沉積產(chǎn)品代加工

     LPMS擁用標(biāo)準(zhǔn)的真空氣相鍍膜車(chē)間和10多臺(tái)CVD真空氣相鍍膜設(shè)備,可為客戶(hù)提供CVD真空氣相沉積納米級(jí)塗層的打樣測(cè)試或大批量生產(chǎn)代加工服務(wù)。同時(shí)也可提供包括產(chǎn)品的從SMT表面黏著、DIP插件、無(wú)鉛制程、焊接加工、低壓注塑/點(diǎn)膠、真空氣相鍍膜、產(chǎn)品測(cè)試、成品包裝的全程代工代料服務(wù),亦也可為客戶(hù)提供新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)服務(wù)。

真空氣相沉積材料

       CVD真空氣相沉積工藝所使用的是一種保護(hù)性長(zhǎng)鏈性高分子材料(中文名:派瑞林、聚對(duì)二甲苯、英文名:Parylene),它可在真空下氣相沉積,活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部,周?chē)纬蔁o(wú)針孔,並厚度均勻的透明絕緣塗層,給元件提供了一個(gè)完整的優(yōu)質(zhì)防護(hù)塗層,抵禦酸堿、鹽霧、黴菌及各種腐蝕性氣件的侵害,因?yàn)樗褂玫牟皇且后w,所以塗敷過(guò)程中不會(huì)聚集,橋接式形成彎月面。

      Parylene派瑞林高分子材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)可分為: N、C、 D、F、HT等多種 類(lèi)型。我們可根據(jù)客戶(hù)技術(shù)要求與產(chǎn)品提供CVD真空氣相沉積工藝所需的派瑞林粉體與原料,並給於專(zhuān)業(yè)的技術(shù)指導(dǎo)。

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派瑞林牌號(hào)

成膜特性

CAT

N

CAT

C

CAT

D

CAT

F(VT4)

CAT

AF4(HT)

密度(gm/cc)

1.1

1.3

1.41

1.55

1.5

介電常數(shù)(1Mhz)

2.6

2.9

2.8

2.3

2.2

介電強(qiáng)度(V/Mil)

7000

5600

5500

5000

7000

最低持續(xù)工作溫度(空氣中)

-60°C

-60°C

-60°C

-60°C

-60°C

最高持續(xù)工作溫度(空氣中)

60°C

80°C

110°C

200°C

300°C

摩擦係數(shù)-動(dòng)態(tài)

0.25

0.29

0.38

0.39

0.16

線(xiàn)性膨脹係數(shù)(ppm at 25°C)

69

35

38

45

34

吸水性(24H後)

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

水蒸氣透過(guò)率(gm.mm)/m2.day)

0.6

0.08-0.1

0.1

0.25-0.32

0.2

氧氣穿透率(cc.mm)/(m2.day.atm)

16

3

12.0-13.5

16.8

25.3

視頻
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