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  • 緊湊型側(cè)式真空氣相沉積設(shè)備。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物(長鏈性高分子材料,一般為派瑞林Parylene)、單質(zhì)氣體經(jīng)過昇華、熱解後進入放置產(chǎn)品的真空反應(yīng)室,借助空間氣相...2019-06-01 15:00:13
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